Sistema de microposicionamiento de alto vacío MP105-3 series

3 ejesXYZpiezoeléctrico

Microposicionador rápido y preciso - HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm de recorrido, 0,2 µm de repetibilidad, 1 kg de carga - Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C Configurable opcionalmente: - Disponible en versión magnética, poco magnética y sin imán - Diferentes variantes de motor: Motor piezoeléctrico o nanomotor - Opcionalmente con sistema de medición de alta resolución para una repetibilidad de hasta 0,005 µm - Puede combinarse con mesas giratorias para aplicaciones rotativas - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 a petición) - Opcionalmente con controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicaciones de alta precisión o dinámicas El manipulador es un sistema de 3 ejes altamente dinámico para el movimiento X, Y y Z en un espacio de instalación muy limitado. Se realizan carreras de hasta 50 mm. El manipulador está equipado con motores piezoeléctricos y puede así realizar incrementos de posicionamiento de unos pocos nanómetros para aplicaciones de alta precisión en alto vacío y ultra alto vacío. Equipado opcionalmente con un nanomotor, es especialmente adecuado para el posicionamiento altamente dinámico y de alta precisión. Campos de aplicación Posicionamiento de precisión en espacios muy reducidos para aplicaciones de laboratorio, microscopía y tecnología de semiconductores, investigación en ultravacío y bajo radiación ultravioleta extrema, preparación de muestras, escaneo de muestras, manipulación de muestras, ajuste de cámaras, ajuste de sensores, investigación de materiales, análisis de materiales, línea de haz, acelerador, sincrotrón, miniaturización