Sistema de microposicionamiento de alto vacío MP53-3-PM-10-PM-L

3 ejesXYZpiezoeléctrico

MP53-3-PM - Sistemas multiejes compactos de vacío Microposicionador de alta resolución - HV / UHV / EUV, 10 mm de recorrido, 0,2 µm de repetibilidad, 0,5 kg de carga - Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV - Lubricación líquida hasta 10E-8 / seca hasta 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de horneado 120°C Configurable opcionalmente: - Disponible en versión magnética, poco magnética y sin imán - Opcionalmente con sistema de medición de alta resolución para una repetibilidad de hasta 0,005 µm - Combinable con etapas rotativas para aplicaciones rotativas - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con el controlador FMC400/450 Manipulador XYZ miniaturizado para aplicaciones exigentes El manipulador MP53 es un sistema miniaturizado de 3 ejes para movimientos X, Y y Z en un espacio de instalación muy limitado. Se realizan rangos de recorrido de 10 mm. El manipulador está equipado con motores piezoeléctricos, por lo que puede realizar incrementos de posicionamiento de unos pocos nanómetros para aplicaciones de alta precisión en alto vacío y ultra alto vacío. Áreas de aplicación Posicionamiento de precisión en el espacio de instalación más pequeño para aplicaciones de laboratorio, microscopía y tecnología de semiconductores, investigación en ultra-alto vacío y bajo radiación ultravioleta extrema, preparación de muestras, exploración de muestras, manipulación de muestras, ajuste de cámaras, ajuste de sensores, investigación de materiales, análisis de materiales, línea de haz, acelerador, sincrotrón, miniaturización