Detector O3 disuelto 470

con semiconductorindustrialcompacto

El modelo 470 es un sensor de ozono disuelto de última generación diseñado para herramientas de banco húmedo de semiconductores y muchos otros procesos industriales. Proporciona una medición continua del ozono disuelto en agua desionizada o en baños sulfúricos con concentraciones de hasta 150 mg/L. El modelo 470 está "listo para limpiar" para procesos de semiconductores de alta pureza, y está diseñado para ser simplemente empalmado en línea en el lazo de recirculación de cualquier herramienta de banco húmedo con caudales de hasta 150 SLPM El sensor modelo 470 incorpora una innovadora tecnología de detección de muestras de trayectoria óptica dual para proporcionar un rendimiento sin igual y eliminar virtualmente la necesidad de una medición de líquido de referencia Una instalación típica consiste en el sensor 470 y un cable enchaquetado de Teflón 7 de interconexión. El sensor 470 incluye la capacidad de reportar remotamente la concentración que se está midiendo a través de señales analógicas o digitales a la consola del banco húmedo Características - Monitoreo in situ - Capacidad de flujo completo en línea - Ruta de flujo recta - No hay partes móviles - No hay consumibles - Rangos de hasta 150 mg/L - Calibración remota de cero - Método de absorción de rayos UV de alta precisión - Técnica de detección de muestras de doble vía óptica - No se requiere un mantenimiento regular - Materiales húmedos de grado semiconductor - Caja compacta de FRPP - Cable de interconexión encamisado de Teflon7