Sistema de regulación de gas SCI-552

El SCI-552 es un controlador de sistemas de suministro de ozono que proporciona interfaces de control electrónico para una serie de componentes típicos del sistema, entre los que se incluyen: generadores de ozono, válvulas EV, controladores de flujo másico, controladores de contrapresión, sensores de ozono Teledyne API 452, sensores de ozono disuelto Teledyne API 470 y un enfriador de agua. El SCI-552 cuenta con soporte de hardware y software para varias funciones de enclavamiento del sistema. El SCI-552 proporciona flexibilidad al usuario final, permitiendo el control del sistema a través de la interfaz de usuario del panel frontal, la interfaz de serie MODBUS o varios puntos de E/S digitales y analógicos discretos. El SCI-552 está diseñado para soportar dos generadores de ozono que proporcionan dos canales independientes de salida de ozono. Características - Soporte remoto RS-232 MODBUS - Controla hasta 2 generadores de ozono - Interfaz con hasta 2 sensores de ozono modelo 452 y modelo 470 - Controla hasta 4 controladores de flujo de masa - Controla hasta 2 controladores de contrapresión - Controla hasta 2 válvulas EV - Controlar un enfriador de agua - Entradas del sistema de enclavamiento - Controles remotos a nivel de sistema y estado I/O Aplicaciones Deposición química de vapor (CVD) - Deposición de la capa atómica (ALD) - Crecimiento del óxido - Acondicionamiento de la superficie - Ashing - Limpieza de partículas - Eliminación de la fotoresina - Otros