La serie de sensores OPTI-Sense se basa en la tecnología de infrarrojos no dispersivos (NDIR). Están diseñados para que de forma precisa
medir la absorbancia en el espectro infrarrojo de los gases especiales que se encuentran típicamente en las aplicaciones de los semiconductores. Son
muy compacta y diseñada sin partes móviles, lo que hace que el OPTI-Sense sea robusto e ideal para la monitorización continua de gas in situ de los procesos de los semiconductores.
Los diagnósticos incorporados están incluidos en el software incorporado. Todos los sensores de OPTI-Sense están configurados con
interfaces, lo que hace que sean fáciles de integrar en cualquier proceso.
Características
- NDIR Infrarrojo no dispersivo
- Ideal para cualquier gas absorbente de infrarrojos (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 y otras especies)
- Tiempo de respuesta rápida
- Alta sensibilidad
- Especificaciones de la especie
- No hay consumibles
- No hay partes móviles
- Software LabView GUI (opcional)
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