La serie CAT-O3 de destructores de ozono descompone con seguridad altas concentraciones de gas ozono a niveles inferiores a ppm que están por debajo de los límites de seguridad de ozono recomendados. El método catalítico de descomposición utiliza un catalizador de óxido metálico para convertir pasivamente el ozono en oxígeno.
Los destructores de ozono de la serie CAT-O3 están fabricados con una carcasa de acero inoxidable soldada y protegida con un escudo térmico. Están cuidadosamente diseñados para cumplir los estrictos requisitos de rendimiento de seguridad del sector
Características
- Construcción totalmente soldada
- Autónomo
- Tiempo de reacción rápido
- Sin consumibles
- Sin mantenimiento
- Instalación sencilla
Semiconductor
- CVD TEOS/Ozona
- ALD
- MOCVD
- Ashers
- Bancos húmedos
- Herramientas de pulverización
- Otros
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