Manómetro de vacío con Pirani HPM 2002

piezorresistivocon pantalla LEDcompacto

El galardonado vacuómetro de doble sensor y amplio rango de la serie 2002 está disponible en dos estilos de montaje: montaje en panel o montaje en sensor. El vacuómetro de doble sensor HPM-2002 es un instrumento de montaje en panel con una unidad de visualización basada en un microprocesador, un tubo de medición y un cable de interconexión. Los dos elementos sensores (sensor Pirani micromecanizado y sensor piezoresistivo) proporcionan una medición precisa del vacío en 7 décadas de presión, desde 1 X 10-4 hasta 1000 Torr. Un algoritmo residente en el microprocesador garantiza una transición perfecta entre los sensores. el HPM-2002-OBE, vacuómetro de doble sensor, es una versión del vacuómetro montada en el sistema. El HPM-2002-OBE ofrece todas las prestaciones de la serie 2002 en una configuración compacta con 12 opciones de salida de señal a elegir. Aplicaciones Grabado de semiconductores Cámara de sputtering Sistemas de bloqueo de carga Control y ensayo de procesos Recubrimiento por plasma