El óxido de etileno es un agente esterilizante muy eficaz. Actúa como bactericida, esporicida y viricida. Cuenta con un coeficiente de difusión muy favorable y puede utilizarse con materiales termosensibles o muy delicados.
Tradicionalmente, la esterilización con óxido de etileno se ha restringido en el sector farmacéutico debido al riesgo que conlleva por sus propiedades mutágenas y carcinógenas. Las GMP indican que este tipo de esterilización solo debe utilizarse cuando no se dispone de ninguna otra tecnología de esterilización.
No obstante, las ventajas de la esterilización con óxido de etileno siguen siento superiores a las que ofrecen los demás sistemas de esterilización del sector de los productos hospitalarios de un solo uso. Las principales empresas de este sector siguen confiando en el óxido de etileno para la esterilización terminal de jeringas, sondas, catéteres, marcapasos, etc. El complejo diseño de este tipo de productos hospitalarios hace que uno de los aspectos más importantes sea la penetrabilidad del agente esterilizante. Es en este terreno donde el uso del óxido de etileno para la esterilización es muy superior a las demás alternativas propuestas: peróxido de hidrógeno, ácido peracético, etc.