Una plataforma de Plasma FIB-SEM para seccionamiento profundo para análisis de fallas a nivel paquete con la resolución más alta
• Corte transversal de área grande libre para el análisis de fallas físicas con paquete de tecnologías avanzadas
• Prepare grandes secciones transversales FIB de hasta 1 mm de ancho
• Obtenga imágenes de alta resolución con bajo ruido en keV en tiempo de adquisición corto de coincidencia FIB-SEM con la muestra inclinada
• Monitoreo SEM en vivo durante el fresado FIB para un apunte final preciso
• Observe los materiales sensibles al haz utilizando bajos keVs de resolución ultra alta con alto contraste de material para superficie sensible
• Técnicas y recetas efectivas para seccionamiento transversal rápido de muestras compuestas libre de artefactos (pantallas OLED y TFT, dispositivos MEMS, dieléctricos de aislamiento) con altas corrientes
• Interfaz de usuario modular Essence™ fácil de usar