Transmisor de vacío con sensor combinado Piezo Pirani VSL

RS485EtherCAT

El transductor de vacío VSL se ha desarrollado especialmente para esclusas de carga. El manómetro metálico estanco utiliza una tecnología multisensor y combina dos piezosensores con un sensor Pirani. Por lo tanto, el transductor de vacío mide la presión absoluta en el rango de 1200 ...1e-4 mbar, así como la presión relativa en relación con el entorno en el rango de -1060 ... +340 mbar. Vista general del transductor de vacío VSL con multisensor Piezo/Pirani: - Sistema multisensor integrado: Dos sensores de diafragma piezoeléctricos para supervisar el bombeo y la ventilación de la cámara; el sensor Pirani, que mide hasta 10-4 mbar, controla la transferencia de baja presión entre la esclusa de carga y la cámara de proceso, minimizando la aparición de partículas - Interfaces digitales RS485 más señal de salida de 0-10 V, EtherCAT o PROFINET - Salida de presión diferencial para activar con precisión la función de apertura de puerta - Alta precisión, resolución óptima y excelente estabilidad - Tiempo de respuesta corto de hasta 40 ms - Lecturas estables gracias a la compensación de temperatura optimizada - Mediciones independientes del tipo de gas por encima de 20 mbar