La combinación de sensor piezoeléctrico y Pirani en el transductor de vacío VSR analógico ofrece alta precisión y excelente resolución en el rango de vacío grueso y fino.
MA4 - señal de salida de 4-20 mA
MV - señal de salida de 0-10 V
Vista general del transductor de vacío VSR con sensor Piezo/Pirani:
- Sensor combinado Piezo / Pirani con rango de medición ampliado 5,0 x 10-5 mbar
- Alta precisión en todo el rango de medición, incluido el vacío aproximado
- Excelente reproducibilidad y fiabilidad para procesos de producción estables
- Medición independiente del tipo de gas en bajo vacío
- Rápido tiempo de respuesta de hasta 18 ms que permite ciclos de reloj más cortos
- Revestimiento metálico integrado para protección contra la contaminación
- Adecuado para UHV gracias a la célula de medición de acero inoxidable con sellado metálico (tasa de fuga de He <5e-10 mbar l / s)
- Estabilidad de sobrepresión hasta 10 bar
- Indicación óptica del estado mediante LED
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