Controlador del sistema de vacío y medidor de iones de PVC ● para medidores de iones de cátodo caliente UHV pasivos
La gama de instrumentos comprende controladores para uno o dos medidores de iones de cátodo caliente pasivos, así como diversos módulos enchufables para el funcionamiento de sensores Pirani pasivos adicionales VSP521/VSP841 o transductores de vacío 0-10V activos.
La gama de instrumentos comprende controladores para uno o dos medidores de iones de cátodo caliente pasivos, así como diversos módulos enchufables para el funcionamiento de sensores Pirani pasivos adicionales VSP521/VSP841 o transductores de vacío activos de 0-10V. También hay disponibles medidores de iones de cátodo caliente y accesorios adecuados, como sensores de temperatura de termopar para el control de la cocción o cables de medidor.
Resumen del medidor de iones de PVC y el controlador del sistema de vacío
- Para 1 soporte de medidor de iones UHV (PVCuni) o 2 soportes de medidor de iones UHV (PVCduo)
- 2 ranuras de módulos para añadir medidores Pirani o transductores activos de 0-10V
- Funcionamiento intuitivo basado en menús
- Emisión de rango automático, o 11 ajustes de emisión manual
- Medición de la presión durante la desgasificación, desgasificación de potencia en rampa
- 2 ranuras para módulos Pirani (VSP52x, VSP84x)
- Controlador de desgasificación integrado, interconectado y de varios pasos
- 2 temporizadores de encendido/apagado definibles por el usuario
- Hub de enclavamiento definible por el usuario, 7 disparos de salida y 4 entradas digitales
- Las mediciones se muestran en unidades de presión o, alternativamente, como corriente de iones directos (con corrección de emisiones) para la supervisión del flujo del haz (BFM)
- Interfaces RS232/RS485 multipunto de serie con fácil conexión en cadena
- Control informático completo mediante protocolos binarios MODBUS y QueBUS basados en ASCII
- 2 salidas analógicas de 0-10V
Aplicaciones
- Monitorización de la presión y el enclavamiento de todos los sistemas de alta y baja tensión, y control de procesos
- Monitorización del flujo del haz MBE
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