Presión absoluta 1000 mbar a 5e-10 mbar (=hPa), 750 Torr a 5e-10 Torr
El manómetro combinado compacto VSH (Pirani/cátodo caliente) mide la presión absoluta desde la atmósfera hasta el vacío ultraalto. La inteligencia de los microprocesadores internos garantiza una transición sin fisuras entre los dos principios sensores y, por tanto, una gran precisión.
Sus ventajas
" Amplio rango de medición gracias al sensor combinado Pirani/Bayard Alpert
" Pirani con amplio rango de medición, que permite el funcionamiento del cátodo caliente a baja presión, garantizando una vida útil optimizada
" Excelente precisión y reproducibilidad
" Bayard-Alpert con doble filamento resistente al soplado y revestido de itrio
" Interfaz digital RS485 más señal de salida de 0-10 V, EtherCAT o PROFINET
" El adaptador Bluetooth SLKBT permite la comunicación inalámbrica
" Detección automática de velocidad de transmisión de 9,6 kBd a 115 kBd
" Opcionalmente con gran pantalla LCD integrada con retroiluminación (VSH88DL, VSH89DL)
" Dos puntos de conmutación por relé independientes y libres de potencial
" Cabezales de sensor calibrados fácilmente reemplazables
Ejemplos de aplicaciones
" Tecnología de análisis
" Sistemas de evaporación y recubrimiento
" Medición y control en el rango de vacío fino y alto
" Ingeniería de procesos
" Hornos de vacío
" Sistemas de sputtering
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