STACIS® III es un sistema flexible y avanzado de aislamiento contra vibraciones activas. Empleando sensores de vibración inerciales avanzados, algoritmos de control sofisticados y actuadores piezoeléctricos de vanguardia, STACIS cancela la vibración en tiempo real midiendo continuamente la actividad del piso, y luego expandiendo y contrayendo los actuadores piezoeléctricos para filtrar el movimiento del piso.
Diseñado inicialmente para aislar equipos de microlitografía, metrología e inspección de precisión en fábricas de semiconductores avanzados, STACIS es ahora la solución estándar de la industria para los instrumentos más sensibles en entornos ruidosos, incluidos, entre otros, fabricantes de semiconductores, laboratorios de análisis de fallas, investigación en nanotecnología, instalaciones de nanofabricación y la investigación de materiales.
STACIS III incluye un controlador digital nuevo y mejorado, el DC-2020. Con un nuevo procesador de doble núcleo y Ethernet, así como puertos seriales USB en los paneles frontal y posterior, este nuevo sistema de control avanzado proporciona al usuario una interfaz gráfica de usuario (GUI) moderna y fácil de usar. Con cientos de instalaciones exitosas en todo el mundo, STACIS es el sistema ideal de aislamiento contra vibraciones para los instrumentos más sensibles a las vibraciones.