SEM-Base® VI es la siguiente generación en la cancelación activa de vibraciones piezoeléctricas STACIS. SEM-Base VI está diseñado para ser compatible con todos los microscopios electrónicos de barrido comerciales (SEM), así como con muchos instrumentos de haz de iones focalizados (FIB) e instrumentos pequeños de doble haz. SEM-Base VI proporciona un rendimiento mejorado de aislamiento contra vibraciones, un controlador más rápido y robusto y una interfaz gráfica de usuario avanzada (GUI). SEM-Base VI permitirá que más laboratorios e instalaciones alcancen el nivel de vibración del piso requerido para satisfacer las especificaciones del fabricante de la herramienta.
SEM-Base VI utiliza una “arquitectura en serie” única en la que los sensores de vibración miden la vibración del piso, no la vibración de la carga útil. Esto garantiza que, a diferencia de otros diseños, las resonancias de carga útil no limitan inherentemente el aislamiento contra vibraciones ni causan inestabilidad. Los sensores de vibración son sensores de velocidad inercial de baja frecuencia para una máxima sensibilidad en el rango de sub-Hz difícil de medir. En combinación con nuestra exclusiva tecnología de actuador piezoeléctrico, SEM-Base VI logra niveles extremadamente altos de cancelación de vibración, incluso en pisos ya silenciosos.