Sistema antivibraciones activo Stage-Base 450

para la industria de los semiconductores

TMC continúa aplicando tecnología avanzada para desarrollar nuevas soluciones a las exigentes demandas que las herramientas de semiconductores colocan en sus sistemas de aislamiento contra vibraciones. Stage-Base 450 está diseñado específicamente para ser el principal sistema de cancelación de vibración para herramientas avanzadas de semiconductores que incorporan etapas X-Y motorizadas de alta precisión. Si bien estas herramientas requieren una cancelación de vibración extremadamente eficiente, igual de crítica, requieren que el movimiento de carga útil inducido por la etapa se asiente muy rápidamente para maximizar el rendimiento de la herramienta. Con la adición de VCM con control de alimentación anticipada para un tiempo de ajuste aún más rápido para aumentar más el rendimiento, el resultado es el sistema más avanzado de cancelación de movimiento y vibración activa para aplicaciones de etapa móvil.