Sistema antivibraciones activo Electro-Damp® II

para la industria de los semiconductores

Electro-Damp® es el primer sistema de aislamiento contra vibraciones activo comercial diseñado específicamente para aumentar la producción, la resolución y el rendimiento en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El Electro-Damp II es un nuevo diseño del sistema original, el cual agrega modularidad, control digital, alimentación anticipada, actuadores de alta fuerza/alta holgura, y las múltiples interfaces de usuario digitales están diseñadas específicamente para usarse en aplicaciones OEM como las herramientas de microlitografía, inspección y metrología. Las herramientas de fabricación de semiconductores imponen demandas conflictivas a su sistema de aislamiento contra vibraciones. En respuesta al ruido en el piso, el sistema debe ser suave para filtrar efectivamente la vibración del piso para que no alcance la superficie aislada. Simultáneamente, el sistema debe ser rígido en respuesta a las fuerzas de la etapa, de modo que el movimiento de la etapa induce un desplazamiento mínimo de la superficie aislada y se asienta rápidamente.