Los viajes modelan 645 que Chuck Supply electrostático con programa de gestión ofrece un arsenal de las características que proporcionan ventajas significativas mientras que acomodan una variedad de usos exigentes. El uso documentado muestra que los clientes han visto aumentos en igual de la eficacia y de la producción a tres veces que de otras fuentes. Además, los 645 modelo elimina virtualmente la oblea pegajosa y problemas que hacen estallar de la oblea, así asegurando un mejor control sobre la contaminación de la partícula.
Dado la flexibilidad y el funcionamiento de los 645 modelo, puede ser utilizado en herramientas únicas múltiples/procesos, así eliminando la necesidad de especificar una nueva fuente para cada herramienta/proceso únicos en una instalación.
Especificaciones dominantes
Organización de la salida:
Voltaje A (fase de la referencia): 0 a ±2 kilovoltio
Voltaje B (fase B = [- 1] fase de x A): 0 a ±2 kilovoltio
Gama del voltaje de salida: 0 a ±2 kilovoltio
Gama de la corriente de salida: 0 a ±6.5 mA DC con una capacidad máxima de 10 mA
Los usos típicos incluyen
dirección Electrostático-conducida de materiales
Proceso de la oblea de semiconductor
Transferencia no mecánica de las pantallas planas o de otros materiales de proceso sensibles al recortes mecánico
Características y ventajas
Apoya las tecnologías de salida de Coulombic y de Johnsen-Rahbek
Usuario configurable para las secuencias de encargo de la abrazadera y del declamp y las formas de onda
Los perfiles electrostáticos de la tirada se pueden cargar a la unidad y almacenar internamente vía una interfaz fácil de usar
Reducción documentada de los errores del gas de la parte trasera, de la producción creciente, y de la eliminación de obleas pegajosas/que hacen estallar
Interfaz de control bloqueable del panel de delante
Capacidad a los parámetros de control tales como umbrales de la sobreintensidad de corriente, oblea-presentes y oblea-afianzada con abrazadera, voltaje de la abrazadera,
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