El microscopio modelo de la fuerza electrostática 1100TN del viaje (EFM) permite medidas de la distribución del voltaje con una resolución espacial muy alta mejor el de 10μm que está bastante más allá de la capacidad de voltímetros electrostáticos típicos. El EFM del viaje puede también medir la distribución del voltaje a través de una superficie mucho más grande con respecto a un microscopio de exploración de la punta de prueba cuando está actuado bajo condiciones atmosféricas. El EFM del viaje emplea un voltaje de la reacción al detector que es igual al voltaje medido que previene así la formación de arcos entre el detector y la superficie bajo prueba.
Especificaciones dominantes
Gama del voltaje: ±1 kilovoltio
Sensibilidad del voltaje:
Exactitud: Mejor de 0,5% de completo
Mejor de 100 milivoltio
Paso ampliado: 1 µm, mínimo (detector)
Extremidad del detector: 5 µm del µm X 5
Área de la medida: 5 milímetros X 5 milímetros
Los usos típicos incluyen
Medida de bolsos antiestáticos, oblea del Si
Prueba de materiales de la electrofotografía
Evaluación fotovoltaica de los materiales
Prueba de MEMS
Características y ventajas
Puede ser utilizado en condiciones de la atmósfera
La resolución espacial es mejor del μm 10
Tres modos de la medida:
- Parásitos atmosféricos
- Línea perfil
- trazado 3D
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