El sistema electrostático de Chuck Optimizer del modelo 640 del viaje es una herramienta de diagnóstico que permite a la evaluación y a la optimización de formas de onda/de voltajes para las tiradas/las abrazaderas electrostáticas para minimizar tiempo de la de-abrazadera, maximizar la fuerza de la abrazadera, y alcanza la oblea óptima que procesa para los sistemas de salida.
El modelo 640 combina dos amplificadores (para las combinaciones bifásicas del voltaje) y un generador de forma de onda, que se pueden programar y configurar independientemente para investigar, para investigar, y para descubrir la receta perfecta de la fuente y de la forma de onda de alimentación para conducir eficientemente un uso de salida. Un voltímetro electrostático (ESVM) se incluye para supervisar voltaje residual del proceso de clamping/de-clamping.
Especificaciones dominantes
Organización de la salida:
Voltaje A: 0 a ±2 kilovoltio (4 kilovoltios p-a-p)
Voltaje B: 0 a ±2 kilovoltio (4 kilovoltios p-a-p)
Gama de la corriente de salida: 0 a ±5 mA DC con una capacidad máxima de 10 mA
Gama electrostática del voltímetro: 0 a ±2 kilovoltio DC o a la CA del pico
Organización de la salida:
Resolución: pedazo 16
Muestras por segundas: 250k
Los usos típicos incluyen
dirección Electrostático-conducida de materiales
Proceso de la oblea de semiconductor
Transferencia no mecánica de las pantallas planas o de otros materiales de proceso sensibles a la dirección mecánica
Características y ventajas
Permite a la creación de formas de onda modificadas para requisitos particulares ser simple con todo potente, generar las formas de onda más complejas que se pueden prever por el usuario
El software del producto acepta los parámetros vía entrada de datos arbitrarios, formas de onda preprogramadas, o el usuario generó ficheros de CSV
Acomoda sistemas monofásicos o bifásicos de salida
La investigación se aumenta vía tres etapas individualmente programadas para construir la salida
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