Máquina de deposición PVD Titan DepositionPE-CVDelectrostáticade vacío
Añadir a mis favoritos
Añadir al comparador
Características
- Método
- PVD, PE-CVD, electrostática
- Otras características
- de vacío
Descripción
El sistema de deposición Titan, de probada eficacia, es un sistema de deposición sin carga con elevador de cassettes al vacío. Puede configurarse para PECVD, HDCVD, PVD o ALD. El Titan Deposition proporciona procesos innovadores y de vanguardia en un espacio reducido y a un precio asequible.
Se han desarrollado procesos de producción estándar para la deposición repetible de SiOx, SiNx, SiC y a-Si. Todo ello respaldado por más de 25 años de experiencia en el desarrollo rápido de procesos.
Características del sistema:
PLC y control por pantalla táctil
Mandril electrostático o mecánico
Control activo de la temperatura del sustrato
Elevador de casetes de vacío
Puntos finales ópticos y láser opcionales
---
Catálogos
No hay ningún catálogo disponible para este producto.
Ver todos los catálogos de Trion Technology* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.