Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que permite altas densidades de potencia y cumple los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua permite una escalada de la potencia de salida hasta 80 kW. Además, los generadores VHF compactos convencen por una alta rentabilidad y un robusto diseño.
Formación de pulso arbitraria rápida y precisa
Ofrece el mejor control de los procesos de plasma para el Single y Multi-Level Pulsing existente.
Tiempo de rampa mínimo < 150 ns
Gracias a esto, control muy flexible del comportamiento de encendido del generador.
Auto Frequency Tuning Smart
Ajuste de frecuencia automático para una interacción óptima entre el generador y la matchbox.
Control de proceso seguro y mejorado
Resultados del proceso excelentes y reproducibles gracias a la modulación de frecuencia digital de alta precisión.
Independencia respecto a la longitud de cable
No es necesaria una adaptación de la longitud del cable de AF al cambiar de proceso, por lo que los tiempos de preparación se acortan.
Diseño robusto
Funcionamiento fiable del generador incluso con maladaptación, gracias a la tecnología CombineLine.