Generador de plasma PE-CVD TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) fue especialmente desarrollada para la pulverización catódica CC con materiales difíciles. Los generadores que funcionan con corriente continua por impulsos demuestran ser idóneos, sobre todo, para los procesos de PVD y PECVD críticos, en los que se exigen a la vez la más alta calidad de capa y productividad. Las compactas fuentes de alimentación CC se pueden utilizar en modo de impulsos, así como en funcionamiento de corrientes polarizadas, por lo que podría decirse que son dos aparatos en una sola carcasa. Gran calidad de capa y productividad El procesamiento de la señal digital garantiza procesos estables y pérdidas de tiempo mínimas a causa del arco. Los mejores resultados incluso en procesos críticos La gestión de arco rápida en combinación con la tecnología de impulsos de CC minimizan los daños del sustrato. Adaptación rápida al proceso Gracias al amplio espectro de frecuencia y al voltaje ajustable reversible. Diseño compacto y resistente La refrigeración por agua integrada ahorra espacio y reduce el gasto de mantenimiento.