Bomba de vacío de paletas LR/HR/UR series

secamonoetapade helio

BOMBA DE VACÍO SECA SERIE LR/HR/UR El enfoque único de ULVAC para utilizar el calor generado dentro del cuerpo de la bomba seca permite que las series LR/HR/UR funcionen incluso en los procesos más rigurosos. ULVAC ha enfocado los esfuerzos de diseño en mantener una temperatura alta extremadamente uniforme en todas las etapas de la bomba, lo que hace que esta serie de bombas sea óptima para aplicaciones CVD y de grabado. El ECO-SHOCK de ULVAC se puede añadir a la bomba LR para un ahorro de energía adicional de hasta el 70% en cualquier proceso ligero, incluyendo el bombeo de aire o nitrógeno: La bomba de la serie LR está diseñada para procesos de bloqueo de carga o de PVD. El diseño único de aluminio de ULVAC permite una distribución muy uniforme de la temperatura en todo el cuerpo de la bomba: La bomba de aire comprimido HR está diseñada para procesos de CVD y grabado. La bomba ULVAC serie UR está diseñada para aplicaciones que requieren una bomba calentada, líneas de gas calentadas y/o líneas de escape calentadas Excelente capacidad de bombeo de helio: motor en lata para mayor seguridad y facilidad de mantenimiento Protección contra fallos de alimentación: La bomba soporta interrupciones de alimentación de hasta 1000 ms de duración. Resistencia superior a la corrosión: Los componentes internos están especialmente tratados para proporcionar un alto grado de dureza superficial y resistencia a la corrosión. Esto evita el desgaste y la corrosión de las piezas internas de la bomba cuando expuestos a gases corrosivos. Función de comunicación: Los datos de la bomba, incluidas las advertencias y las alarmas, pueden exportarse. Se dispone de un amplio control de bombas. El marcado CE está disponible : El marcado CE está disponible bajo pedido.