MANÓMETRO PIRANI COMBINADO SW1 & ISG1 ATMOSFÉRICO
Este es un medidor pirani de amplio rango que mide desde la presión atmosférica hasta 5×10-2 Pa (3.75×10-4 Torr, 5×10-4 mbar) El alambre de platino se utiliza para los filamentos, por lo tanto, el filamento funcionará incluso a presión atmosférica
Mide desde la presión atmosférica hasta 5×10-2 Pa (3.75×10-4 Torr,
5×10-4 mbar)
Voltaje de la fuente de alimentación
Alimentado con 24VDC o 100VAC a 240VAC de entrada
Resistente a los golpes
El diseño es muy resistente a los golpes
Material del filamento: platino (Pt)
Como material de filamento se utiliza platino resistente a la corrosión
LEDs de alta visibilidad utilizados para la visualización de errores
Ajuste con un solo toque
El ajuste atmosférico y el ajuste del punto cero se pueden realizar
con un solo toque
Mantenibilidad
El cabezal del sensor se puede cambiar fácilmente
Valor medido Señal de salida
La presión es de 0 a 10V Salida de registro
Señal de salida de control
3 salida de consigna
Especificaciones de comunicación serie
Comunicación RS485 (ISG1)
Unidad de pantalla
Con LED visible
Certificación
Cumple con la normativa CE
Control de proceso en el rango de bajo vacío de equipos de vacío tales como
como el utilizado para semiconductores, óptica y campo fotovoltaico, FPD,
fabricación de piezas electrónicas
Control de procesos en el rango de bajo vacío para equipos industriales tales como
como hornos de vacío, etc.
Control de procesos en el rango de baja presión para sistemas de vacío con
cámaras de proceso múltiples, como el sputtering en línea y la oblea simple
equipo de procesamiento
Para la unidad de bombeo (sistema) que tiene una vibración y/o shach en el
proceso de fabricación
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