Analizador de gas de proceso QULEE CGM series

de gas residualde vigilanciade proceso

MONITOR COMPACTO DE GAS DE PROCESO - QULEE CGM SERIES "Qulee" (pronunciado como "KLEE"), es el último modelo de ULVAC para el análisis de gases residuales y el monitoreo de gases durante el proceso. Los comentarios de los ingenieros de las instalaciones en varias líneas de producción se incorporan en el diseño del nuevo producto, ofreciendo la máxima simplicidad. El Qulee ofrece alta precisión y resolución incluso a alta presión (1Pa o menos) Ideal para la monitorización de procesos de varios sistemas de sputtering No se requiere un sistema de bombeo diferencial No se requiere un sistema de bombeo diferencial (a 1Pa (7.5×10-3 Torr, 1×10-2 mbar) o inferior) Pantalla integrada Sin necesidad de PC Operación simple "Función "One Click Hornear Max 120˚C (248˚F) Horno de alta temperatura (250˚C (482˚F) cuando se eliminan los sensores) Función Degas Degas de bombardeo de electrones Características de protección y mantenimiento Mantenimiento de la protección de la fuente de iones y del multiplicador de electrones secundario función de ayuda Trazabilidad del tubo de análisis (patente pendiente) Hay varias pruebas de fugas disponibles Ensayo de fugas de helio, ensayo de fugas de aire, ensayo de incrustaciones Medición de la presión total Capaz de medir la presión total (medidor de ionización) Qulee QCS está incluido Este software está incluido y es compatible con (Windows 7/8) QIP (Quick Install Package system) está incluido Paquete de medición automática (consulte el catálogo de opciones para más detalles) Norma aplicable Cumple con la normativa CE Monitorización de procesos para sistemas fotovoltaicos, FPD y de semiconductores Análisis de gases residuales en el sistema PVD Control de impurezas (H2O, etc.) en el sistema PVD Para pruebas de estanqueidad