Analizador de gas de proceso QULEE RGM series

de vigilanciade procesode presión

SISTEMA DE MONITOREO REACTIVO DE GAS DE PROCESO - QULEE RGM SERIES Este sistema de monitorización de procesos ha sido desarrollado para diversos tipos de aplicaciones, tales como grabado, CVD y otros procesos de gas reactivo. El uso de la fuente de iones original de ULVAC y su sistema de bombeo le permite obtener resultados de medición estables Resultados de mediciones estables a largo plazo Fuente de iones cerrada utilizando un campo magnético La ionización suave proporciona menos disociación de gases y una mayor sensibilidad. La descomposición y la adsorción debidas a las reacciones térmicas se minimizan en la cámara de ionización. Válvula conductora compacta con 3 modos diferentes de entrada de gas La corta distancia entre la cámara de proceso y la fuente de iones permite respuesta rápida de análisis. Adecuado para la monitorización de procesos Amplio rango de presión de 1×10-6 a 13kPa (7.5×10-9 a 97.5 Torr, 1×10-8 a 130mbar) está disponible. (Elección de oriices) Pantalla integrada Sin necesidad de PC Operación simple "Función "One Click Hornear Max 120˚C (248˚F) Horno de alta temperatura Función Degas Degas de bombardeo de electrones Características de protección y mantenimiento Protección y mantenimiento de la fuente de iones y del electrón secundario multiplicadora Trazabilidad del tubo de análisis (patente pendiente) Hay varias pruebas de fugas disponibles Prueba de fugas de helio, prueba de fugas de aire, prueba de fugas Medición de la presión total Capaz de medir la presión total (medidor de ionización externo (GI-M2)) Qulee QCS está incluido Este software está incluido y es compatible con (Windows XP/7)