Este plato caliente de alta precisión tiene una superficie calentada de 310 x 310 mm.
Se puede utilizar como portabrocas incorporado o independiente con un controlador externo.
La placa de vacío tiene agujeros de vacío en un paso de 25mm cada uno (1mm de diámetro)
para sujetar el sustrato o la oblea.
La temperatura máxima es de 300 °C.
Medición de temperatura de 3 zonas
incl. software para la gestión de los perfiles de temperatura
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