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- VAT Vakuumventile AG
Válvula de compuerta 652 serieseléctricade aislamientode regulación de presión
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Características
- Tipo
- de compuerta
- Accionamiento
- eléctrica
- Función
- de aislamiento, de regulación de presión
- Cuerpo
- de aluminio
- Uso previsto
- para la industria de los semiconductores
- Otras características
- compacta, de alta eficacia, para entornos corrosivos, por motor paso a paso
- DN
200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)- Temperatura
Máx.: 120 °C
(248 °F)Mín.: 0 °C
(32 °F)
Descripción
Optimizado para el semiconductor corrosivo y los procesos de FPD (e.g el grabar al agua fuerte) y para los procesos de limpieza entre los procesos de la deposición. En modo de control, la válvula funciona virtualmente partícula-libre. El mantenimiento puede ser fácil y rápido hecha. Una ventaja es la gama extendida del control.
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