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- VAT Vakuumventile AG
Válvula de compuerta 032 seriesneumáticacon cierrede acero inoxidable
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Características
- Tipo
- de compuerta
- Accionamiento
- neumática
- Cuerpo
- con cierre, de acero inoxidable, de aluminio
- Uso previsto
- para la industria de los semiconductores
- Otras funciones
- de transferencia
- Otras características
- de doble efecto
- DN
Mín.: 32 mm
(1,26 in)Máx.: 500 mm
(19,685 in)- Presión
Mín.: 3 bar
(43,5 psi)Máx.: 7 bar
(101,5 psi)- Temperatura
Mín.: 0 °C
(32 °F)Máx.: 40 °C
(104 °F)
Descripción
Para la cerradura de la carga y el aislamiento de proceso de la cámara en los sistemas de producción del semiconductor para las obleas de 200, 300 y 450 milímetros. - Choque bajo - bramidos protegidos - tiempo de la larga vida - cerrado neumáticamente (opción) - intercambio fácil de la puerta
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