Electroválvula 061 series

Válvula de transferencia para los sistemas de producción de Flat Panel Display de la Generación 4 a la 11. En los sistemas de producción FPD, la válvula de transferencia TwinVAT se utiliza para el bloqueo de carga, la transferencia y el aislamiento de la cámara de proceso. Válvula Unidad de control de proceso (PCU) y electroválvulas Tratamiento de superficies, p. ej. aluminio anodizado duro Vacuómetro para detectar la presión en el interior del cuerpo de la válvula Posición de montaje vertical Puerta Otros materiales de sellado Conexión a tierra eléctrica