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- VAT Vakuumventile AG
Válvula de compuerta 162 seriescon control neumáticode cierrede aluminio anodizado
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Características
- Tipo
- de compuerta
- Accionamiento
- con control neumático
- Función
- de cierre
- Cuerpo
- de aluminio anodizado
- Uso previsto
- para la industria de los semiconductores
- Otras características
- compacta, normalmente cerrada, de simple efecto, para fluido corrosivo
- DN
Máx.: 500 mm
(19,685 in)Mín.: 200 mm
(7,874 in)- Presión
Máx.: 7 bar
(101,5 psi)Mín.: 5 bar
(72,5 psi)- Temperatura
50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)- Caudal
Máx.: 101.500 l/s
(26.813,46 us gal/s)Mín.: 11.000 l/s
(2.905,89 us gal/s)
Descripción
Para procesos semiconductores exigentes como CVD y ETCH.
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