Sistema MBE GEN930®

El sistema GEN930 MBE de Veeco es adecuado para el desarrollo de materiales III-V o II-VI, con un acoplamiento de bomba directo para aplicaciones de nitruro y óxido. La herramienta tiene un diseño modular, que asegura una solución rentable y flexible que es capaz de proporcionar una calidad de material probada. Este equipo puede integrarse con un equipo analítico para el seguimiento in situ de los procesos de crecimiento. Además, el dispositivo ofrece una plataforma versátil que incluye técnicas de monitorización in situ como RHEED, pirometría, elipsometría, RGA, monitorización de flujo óptico y espectroscopia de reflectancia.