Máquina de deposición asistida mediante haz de iones SPECTOR®

de película fina

SPECTOR Loadlock Ion Beam Sputtering System para recubrimiento óptico Rendimiento y repetibilidad superiores para una amplia gama de aplicaciones El sistema de pulverización de haz iónico SPECTOR® Loadlock de Veeco puede proporcionar mejoras sustanciales en el rendimiento para una gran variedad de aplicaciones. Capaz de comenzar la deposición dentro de los cinco minutos de la carga del sustrato, el sistema Loadlock SPECTOR puede fácilmente duplicar el rendimiento para diseños en los que el tiempo de deposición es más corto que los pasos típicos de pre-procesamiento requeridos de las herramientas por lotes. La repetibilidad del sistema también mejora gracias a la capacidad de mantener condiciones estables para los parámetros del proceso, como la presión, la temperatura, la composición de la superficie del objetivo y la potencia de la fuente de iones. Los usuarios de SPECTOR Loadlock pueden esperar un mejor tiempo medio entre mantenimiento (MTBM) para componentes como neutralizadores de radiofrecuencia, revestimientos de la cámara y blindaje debido a su exposición menos frecuente a la atmósfera y a la humedad. Combinadas, estas características y beneficios permiten a los usuarios fabricar películas de la más alta precisión y calidad disponibles en el mercado a una fracción del costo. Aumento sustancial del rendimiento para aplicaciones de revestimiento de espesor bajo/medio Mejora de la repetibilidad mediante condiciones de proceso inherentemente más estables Aumento del tiempo medio entre el mantenimiento de varios componentes clave Control de partículas mejorado