Máquina de tratamiento 3D por láser Ultratech LSA 201

LSA201 Sistema de control ambiental de recocido por láser de puntas El sistema de recocido por láser LSA201 de Veeco tiene la misma arquitectura que el LSA101, pero incluye un diseño patentado de microcámara que permite el control completo del ambiente de las obleas en un sistema láser de escaneado. La microcámara es única en el sentido de que no requiere el uso de un bloqueo de carga por vacío. El sistema es capaz de hacer funcionar mezclas de cualquier gas inerte, incluyendo el gas de formación. El LSA201 se dirige a aplicaciones como la activación de uniones de puertas metálicas de alto k y la formación de siliciuro de níquel. El LSA201 es muy adecuado para procesos a menos de 20 nm, como la ingeniería de interfaces y la modificación de materiales, donde el control ambiental es crítico Características principales Longitud de onda larga, ángulo Brewster, luz p-polarizada para una uniformidad óptima dentro de la matriz Control de retroalimentación de temperatura en bucle cerrado para mantener un control estricto de la temperatura Diseño independiente de la disposición ideal para procesar tanto la cepilladora como los dispositivos FinFET El campo de tensión localizado con tiempo de permanencia flexible permite un procesamiento de baja tensión y una menor rotura de obleas