Sistema de distribución de gas GSDS-Series

Los sistemas de suministro de fuentes de gas (GSDS) de Veeco se utilizan principalmente para las operaciones de control de las fuentes de gas MBE de Veeco. También se pueden utilizar para el control preciso de gases y enclavamientos, así como para los procesos de supervisión de una amplia gama de tipos de gases. Estos dispositivos cuentan con sistemas de software de control de crecimiento Molly® ECS1 que permiten una rápida integración con los sistemas existentes. Los sistemas de suministro de la fuente de gas están disponibles en 3 configuraciones de modelo, diseñadas y fabricadas específicamente para cumplir con las demandas de los clientes, los requisitos de las aplicaciones y los presupuestos. Todos los paquetes incluyen válvulas manuales de cierre de la línea de gas para cada circuito, purificadores de filtro de gas y controladores de flujo másico. También se suministran válvulas de marcha y ventilación de accionamiento neumático.