Horno de cámara

de vacíoautomáticoindustrial

Hornos Nuestros hornos están completamente automatizados con herramientas y diseño convenientes para ambos procesos con diferentes zonas de calentamiento controlables completamente de acuerdo a las capacidades y necesidades del cliente. Nuestros equipos son para estos tipos de obleas con diámetros de 100, 150, 200, 300 mm. HORNOS DE VACÍO Vegatec diseña y fabrica hornos de vacío con todo su sistema de automatización para laboratorio e industria de microelectrónica, nanoelectrónica y fotovoltaica. Estos hornos son los siguientes; Depósito químico en fase de vapor a baja presión (LPCVD) Los procesos lo son; Nitruro de Silicio Óxido de TEOS Óxido de baja temperatura (LTO) Óxido de alta temperatura (HTO) Polisilicio dopado Oxinitruro de silicio Polisilicio Silanización Deposición química en fase de vapor mejorada por plasma (PECVD) Los procesos lo son; Óxido de silicio Nitruro de Silicio Oxinitruro de silicio Dopaje de fósforo y boro Recocido al vacío Características generales de los hornos de vacío Fácil de usar y de mantener gracias a un diseño fácil de usar Cámara del horno y portamuestras tipo cantilever de cuarzo de alta pureza Capaz de trabajar en salas limpias de hasta clase 10 Capacidad de trabajar en vacío hasta 10-6 Larga vida útil gracias a los componentes de alta calidad Zonas de calefacción regulables por separado Fácil uso de la interfaz de automatización Tubos de horno apilables para el diseño compacto de diferentes procesos al mismo tiempo Capacidad de carga manual o automática Capacidad de acuerdo a cada cliente Laboratorio o escala industrial