Sensor confocal sin contacto NFP

Con la sonda Nano Focus, la superficie de la pieza puede capturarse como una nube de puntos en 3D y se puede evaluar la dimensión, la forma, la posición y la rugosidad en las microestructuras. La supresión de la luz parásita permite una medición fiable de la topografía en 3D incluso en superficies reflectantes con desviaciones de sondeo en el rango submicrométrico. El sensor óptico confocal también ofrece buenos resultados en flancos empinados con grandes ángulos de inclinación. • Las diferentes lentes permiten adaptar el sensor a la tarea que se realiza • El sensor puede utilizarse en todo el volumen de medición de la máquina de medición de coordenadas y los resultados de la medición pueden vincularse en el mismo sistema de coordenadas • Una superficie total puede calcularse a partir de varias nubes de puntos parciales adyacentes casi sin pérdida de precisión Rango de medición Medición "en la imagen" con eje de medición Z integrado 250 µm Precisión Desviación de sondeo admisible hasta 0,15 µm Cómo funciona Moviendo el cabezal de medición con a) iluminación, b) cámara, c) estenopeica y d) óptica de imagen respecto a la pieza e) se varía la intensidad de los puntos de luz f), g) por desenfoque. El solapamiento de los puntos de luz desenfocados f) se evita con grandes distancias g).