Sensor de presión de vacío WUD-2 series

de capa finadigital3 hilos

Industria semiconductores y fotovoltaica, semiconductores, fabricación de pantallas planas Distribución de gases utrapuros en sistemas de semiconductores Características Medición de presiones de elevada exactitud 0,15 % RSS Excelente estabilidad a largo plazo Protección y eliminación de ruido de señal Medición de presión con referencia vacío Compensación activa de la temperatura Descripción Fiable Los transductores de la serie Ultra de alta pureza WUD-2x combinan los sensores de última generación con señales de salida analógica. Por lo tanto, son capaces de proporcionar mediciones de presión seguras y precisas para satisfacer las necesidades actuales del mercado. La medición de la presión basada en vacío como referencia y soluciones electrónicas para el blindaje de la interferencia y de eliminación de ruido garantizan una medida de la presión con alta exactitud, así como una excelente estabilidad a largo plazo. La compensación activa reduce los efectos de las variaciones de temperatura y permite una operación segura incluso en aplicaciones con altas fluctuaciones de temperatura, véase efecto Joule-Thompson en caso de expansiones de gas. Los transductores WUD-25 (flow through) y WUD-26 (montaje en superficie) están específicamente diseñados para soportar las cargas de torsión que ocurren a menudo durante la instalación. La construcción especial de sensor de película delgada elimina el riesgo de avería del sensor provocado por cargas en la conexión del proceso o en las cordones de soldadura. Versátil El WUD-2x puede instalarse fácilmente en los sistemas de distribución de gas "on tool".