Sistema de inspección óptico

automáticopara la producciónpara obleas

Este sistema puede inspeccionar y clasificar automáticamente las obleas que se utilizarán para la producción. Dispone de varias funciones inteligentes, como aprendizaje profundo, visión artificial, alerta de fallos e interfaz MES de fábrica. Capacidad Capacidad media de hasta 8500 obleas/hora probada en la producción en masa real Capacidad de ampliación El sistema puede trabajar con soportes que cargan de 25 a 150 obleas y puede integrarse con un limpiador de obleas Eficiencia Bandejas de doble piso, reduciendo el tiempo de operación del trabajador Beneficio Servicio postventa rápido y bajo coste de mantenimiento Precisión Los sensores de perfil de alta velocidad se aplican para el módulo de medición de espesor y las cámaras de alta resolución se utilizan para los módulos de inspección de tamaño y mancha para mejorar la precisión de la inspección Precisión Los lados laterales en dirección X e Y se inspeccionan para minimizar la falta de detección de defectos; las microfisuras no pueden escapar a la detección gracias a la inspección precisa del módulo de microfisuras en dirección X.