El Xeryon Linear Stage (XLS) es una etapa lineal precisa accionada por un motor piezoeléctrico ultrasónico silencioso. Esto permite un rápido posicionamiento con precisión nanométrica. El motor piezoeléctrico autobloqueante mantiene la posición del escenario cuando no está alimentado. Como resultado, el consumo de energía y la generación de calor se reducen considerablemente. El codificador integrado tiene una resolución de 10 nm.
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