Cerámica para fuente de iones
en placasde tuboen varillas

cerámica para fuente de iones
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Características

Forma
en placas, de tubo, en varillas, de anillo
Composición
de nitruro de silicio, nitruro de aluminio
Otras características
de aislamiento, para fuente de iones

Descripción

C.Casos de aplicación de los accesorios para implantadores de iones y accesorios cerámicos 1. Caso de componentes de implantadores de iones Los ejemplos de aplicación de los accesorios para implantadores de iones incluyen la fabricación de componentes clave de los implantadores de iones, como cojinetes, ventosas de vacío, mandriles electrostáticos, boquillas, filamentos, módulos catódicos, etc. Debido a su alta dureza, alta resistencia y alta resistencia al calor, los accesorios cerámicos son capaces de mejorar el rendimiento y la fiabilidad de los implantadores de iones. 2. Caso de equipos de fabricación de semiconductores Piezas de implantadores de ionesEn el caso de los accesorios cerámicos para equipos de fabricación de semiconductores se incluyen los componentes clave para la fabricación de equipos de fabricación de semiconductores, como sustratos de embalaje, materiales aislantes, etc. Gracias a su excelente aislamiento eléctrico y estabilidad química, los accesorios cerámicos pueden garantizar un funcionamiento estable a largo plazo de los equipos de fabricación de semiconductores en entornos difíciles.

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