Interferómetro para la medición del desplazamiento ZMI™ Series

ópticoláserpara aplicaciones de litografía

Las configuraciones estándar de los interferómetros de ZYGO admiten muchos tipos de escenarios de medición. La mayoría de los interferómetros pueden admitir una orientación de medición recta o en ángulo recto y pueden fabricarse para funcionar en vacío. Esta unidad mide objetivos retrorreflectores para el seguimiento de objetos que se mueven principalmente en una dimensión lineal o que giran alrededor de un punto fijo. ZYGO ofrece un interferómetro lineal de tamaño estándar y compacto para adaptarse a las diferentes limitaciones de espacio del sistema. Ejemplos: Etapas de retícula, sistemas de pórtico, espejos de dirección Esta unidad mide objetivos de espejo plano para el seguimiento de objetos que se mueven en múltiples dimensiones lineales con rotaciones limitadas. Los interferómetros de espejo plano de ZYGO están diseñados para ofrecer una gran estabilidad y mitigar el error térmico. Ejemplos: Etapas de obleas, sistemas de etapas apiladas Esta unidad mide los cambios en el índice de refracción para su uso en la compensación de otros ejes de medición. El compensador de longitud de onda compacto de ZYGO proporciona una retroalimentación de alta precisión del cambio de índice para obtener el mejor rendimiento de la medición del desplazamiento en condiciones ambientales. Completa el sistema de medición dirigiendo el haz desde el láser a los interferómetros y finalmente a la electrónica de medición. ZYGO ofrece una variedad de espejos plegables estándar, divisores de haz, captadores de fibra óptica y cables de fibra para una configuración flexible de su sistema de medición.