La electrónica de medición de la ZMI™ calcula el desplazamiento utilizando las señales ópticas de los interferómetros accionados por una fuente láser de la ZMI™.
La ZMI™ 501A ofrece dos ejes de medición en una cómoda caja independiente.
Las tarjetas de las series ZMI™ 2400, 4000 y 4100 proporcionan una resolución subnanométrica para dar servicio a las aplicaciones de metrología de posición más exigentes. Estas tarjetas pueden añadirse modularmente en un chasis VME para proporcionar una escalabilidad de hasta 64 ejes de medición.
Para lograr la máxima precisión en las mediciones, nuestra opción patentada de corrección de errores cíclicos elimina automáticamente y sin problemas los errores no lineales comunes intrínsecos a los sistemas DMI.
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