Los expansores de haz de eje horizontal de ZYGO aumentan el tamaño de apertura nativo de un interferómetro de 4" a 12", 18", 24" o incluso 32", lo que permite la precisión de la interferometría en la calificación de componentes ópticos y sistemas ópticos de gran formato.
Los sistemas horizontales de gran apertura ofrecen la capacidad única de mantener dos canales de metrología independientes; uno de la apertura nativa del interferómetro de 4", y el otro un haz ampliado de hasta 32", lo que permite la flexibilidad de dos interferómetros en uno. Si se configuran con los accesorios adecuados, los sistemas de gran apertura pueden utilizarse para medir tanto la forma de la superficie como la calidad del frente de onda transmitido.
Los expansores de haz ZYGO se han utilizado en todo el mundo para satisfacer las aplicaciones más exigentes y precisas de la metrología óptica de gran formato. Décadas de experiencia en el desarrollo de expansores de haz y en la producción interna de componentes clave, como los planos de referencia superprecisos, garantizan que se satisfagan las necesidades de su aplicación y se les preste apoyo en el futuro.
Los componentes del sistema de gran apertura pueden adquirirse por separado de la estructura principal del interferómetro. Póngase en contacto con su representante local de ZYGO para que le ayude a configurar el sistema para satisfacer sus necesidades metrológicas.
- Tamaños de apertura ampliada de 12", 18", 24" y 32"
- Canal doble de 4" y pata expandida para una mayor flexibilidad con aperturas grandes y pequeñas accesibles
- Diseñado para alta resolución, cada expansor de haz mantiene el ITF para sistemas de interferómetro de hasta 3,4k x 3,4k
- Soporta la adquisición robusta de vibraciones QPSI
- Disponible en longitudes de onda operativas de 633 nm a 1. 55 µm
- Una gama de accesorios ópticos y mecánicos están disponibles para cada tamaño de apertura, incluyendo ópticas de referencia hasta λ/25 PVr
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