Sensor de posición lineal ZPS™

sin contactoen lazo cerradoóptico

Medición de posición absoluta sin contacto de alta precisión en hasta 64 canales sincronizados El sistema ZPS SensorZYGO™ mide la posición absoluta mediante sensores ópticos ultracompactos que se integran fácilmente en aplicaciones de alta precisión como espejos deformables y posicionamiento de lentes. El sistema de sensores ópticos proporciona hasta 64 canales sincronizados de medición de posición absoluta de alta precisión y sin contacto en un rango de 1,2 mm. La resolución de la medición es de 0,01 nm con una estabilidad de medición de ≤ 1 nm/día. Sensor ópticoLos sensores ópticos no generan calor y son insensibles a las interferencias electromagnéticas, por lo que el sistema ZPS es ideal para aplicaciones de alta precisión que puedan verse afectadas por estos factores. Los sensores ultracompactos se conectan a la caja centralizada compacta mediante cables de fibra óptica. El software ZPS™ complementario de ZYGO proporciona una conexión plug-and-play entre el sistema ZPS y su ordenador, lo que le permite ponerse en marcha con su sistema de forma rápida y sencilla. El sistema ZPS se utiliza normalmente en sistemas de retroalimentación de bucle cerrado que requieren un flujo continuo de datos de posición de alta precisión procedentes de múltiples sensores para compensar la deriva y mantener un posicionamiento y una alineación precisos. El sistema también puede utilizarse como herramienta en entornos de I+D y de fabricación para la alineación en dispositivos de prueba o para cuantificar el rendimiento mecánico dinámico. - Medición óptica sin contacto - Medición de posición absoluta repetible (≤ 0,5 nm, 3σ) - Sistema de alta precisión que utiliza algoritmos de compensación propios - Sensores ultracompactos sin sensibilidad EMI ni generación de calor - Componentes de fibra óptica fiables y probados en telecomunicaciones - Escalable, hasta 64 canales