Platinas de posicionamiento 1 eje Steinmeyer

Carrera: 1 mm - 40 mm
Velocidad: 1 mm/s - 200 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... LA92 Eje lineal UHV de alta velocidad Aplicación: Aplicaciones de alta resolución y escaneado rápido Ventajas: Posicionamiento rápido en UHV, también en vertical Características: Resolución excepcional, ...

Carrera: 1 mm - 130 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... la aplicación - Adaptación individual a la situación de instalación en la cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos - ...

Carrera: 1 mm - 100 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... unidireccional) ± 1,9 µm (bidireccional) - Carga: → 44 N / ↑ 120 N - Velocidad máx. Velocidad: 10 mm/s - Motor: Motor paso a paso - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados de acero inoxidable, híbridos - ...

Carrera: 1 mm - 300 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Etapa lineal nanométrica Aplicación: escaneado Ventaja: posicionamiento nanométrico, también en vertical Características: posicionamiento con resolución extrema y máxima rigidez ...

Carrera: 1 mm - 185 mm
Velocidad: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... hasta 10E-11 mbar - Temperatura máx. de horneado 120°C Datos técnicos - Recorrido: 40mm, 80mm, 185mm - Repetibilidad: ± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidireccional) ± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidireccional) - Carga: → 45 N / ↑ ...

Carrera: 1 mm - 10 mm
Velocidad: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,2 µm - 5 µm

... Motor: Motor piezoeléctrico - Rodamiento: rodamientos de rodillos cruzados - Retroalimentación: Escala lineal - Resolución de retroalimentación: ± 0,1µm ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Repetibilidad: 1 µm - 5 µm

... cámara - Versión para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Opcional con controlador FMC400/450 Datos técnicos: - Recorrido: 16 mm - Repetibilidad ± 1 µm, ± ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Repetibilidad: 0,7 µm - 5 µm

... apertura - Diferentes recorridos- - Opcionalmente con y sin sistema de medición - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Selección de material y lubricación por vacío adaptada ...

Carrera: 1 mm - 25 mm
Velocidad: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... - ± 1,7 µm, ± 0,3 µm (unidireccional) ± 2,7 µm, ± 0,5 µm (bidireccional) - Carga: → 440N / ↑ 410 N - Máx. Velocidad: 3,4 mm/s - Motor: Piezo Motor - Rodamientos: Rodillo cruzado de acero inoxidable, híbrido - Retroalimentación: ...

Carrera: 360 mm - 360 mm
Velocidad: 200 mm/s - 300 mm/s

... Platina giratoria de alta resolución con gran apertura UHV, DUV / EUV, sala blanca ISO 6, n x 360°, rep 0,0003°, velocidad 300°/s, carga 5 kg - Sala blanca: variantes hasta clase ISO 6 (superior bajo pedido) - Vacío: ...