Platinas de posicionamiento compatible de vacío Steinmeyer

Carrera: 1 mm - 40 mm
Velocidad: 1 mm/s - 200 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... Aplicaciones de alta resolución y escaneado rápido Ventajas: Posicionamiento rápido en UHV, también en vertical Características: Resolución excepcional, muy delgada, con motor interno - Vacío: todas ...

Carrera: 1 mm - 100 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... Características: husillo con lubricación seca o husillo de bolas con frenos piezoeléctricos líquidos para estabilidad nm - Vacío: todos los rangos HV / UHV / EUV hasta 10E-11 mbar - Magnetismo: magnético - Lubricación: ...

Carrera: 1 mm - 300 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,015 µm - 5 µm

... nanométrica Aplicación: escaneado Ventaja: posicionamiento nanométrico, también en vertical Características: posicionamiento con resolución extrema y máxima rigidez puede equiparse con 2 (o 4) motores - ...

Carrera: 1 mm - 185 mm
Velocidad: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... lubricación en seco - Características: husillo con lubricación seca o husillo de bolas con lubricación líquida - Vacío: todos los rangos de presión HV / UHV hasta 10E-9 mbar - Magnetismo: magnético - ...

Carrera: 1 mm - 10 mm
Velocidad: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,2 µm - 5 µm

... resolución Aplicación: microplatina multiuso Ventaja: para escaneado de alta resolución Características: posicionamiento con muy alta resolución - Vacío: todos los rangos de presión HV /UHV hasta 10E-11 ...

Carrera: 1 mm - 50 mm
Velocidad: 1 mm/s - 50 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... KT105-50 Platina XY de alta resolución Aplicación: platina XY de vacío Ventaja: rápida y alta resolución Características: parámetros de guiñada y cabeceo tres veces mejores que la variante ...

Carrera: 1 mm - 100 mm
Velocidad: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidad: 0,4 µm - 5 µm

... Ventaja: - larga vida útil a pesar de lubricación seca Características: larga vida útil a pesar de lubricación en seco - Vacío: todas las gamas HV / UHV / EUV hasta 10E-11 - Líquido lubricante hasta 10E-11 - Apertura: ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Repetibilidad: 1 µm - 5 µm

... precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV ...

Carrera: 1 mm - 16 mm
Velocidad: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Repetibilidad: 0,7 µm - 5 µm

... Mesa elevadora de gran apertura de carga Aplicación: mesa elevadora de vacío Ventaja: - alta rigidez y carga, apertura Características: plataforma de cuña con apertura - Vacío: todos los rangos HV ...

Carrera: 1 mm - 25 mm
Velocidad: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Repetibilidad: 0,3 µm - 5 µm

... precisa de elevación vertical de cargas elevadas Aplicación: Plataforma elevadora por vacío Ventaja: alta rigidez y carga Características: cuña con husillo a bolas - Vacío: todos los rangos HV / UHV ...